고밀도 핫 스팟을 가지는 플라즈모닉 나노필러 어레이를 포함하는 표면강화 라만 분광기판 및 그 제조방법

Abstract

본 발명은 표면강화 라만 분광법(Surface Enhanced Raman Scattering, 또는 Surface Enhanced Raman Spectroscopy)에 사용되는 표면강화 라만 분광기판(SERS substrate)에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 나노기둥의 윗면과 옆면에 나노갭(nanogap)을 다수 포함한 금속구조를 형성함으로써 SERS 신호의 극대화가 가능해지며, 나노갭을 조절(거리를 줄임)하여 국소 전자기장을 극대화시킴으로써 SERS 신호를 강화할 수 있고, 또한, 나노기둥 위에 금속의 씌워져 있는 구조로 인하여 나노갭이 나노기둥의 아래에서부터 위까지 3차원 공간에 고루 분포함으로써 기존의 2차원적 SERS 기판에 비해 더 많은 나노갭을 제공하여 다수의 분자가 핫 스팟(hot spot) 근처에 위치하게 되어 SERS 신호를 증가시킬 수 있는 고밀도 핫 스팟을 가지는 플라즈모닉 나노필러 어레이를 포함하는 표면강화 라만 분광기판 및 그 제조방법이 제공된다.