지반으로부터의 진동을 저감시키기 위한 3차원 반능동 마운트 시스템 및 반능동 제어 방법THREE DEMENSION SEMI-ACTIVE MOUNT SYSTEM FOR REDUCING VIBRATION FROM GROUND AND SEMI―ACTIVE CONTROL METHOD
지반으로부터의 진동을 저감시키기 위한 3차원 반능동 마운트 시스템 및 반능동 제어 방법이 개시된다. 반능동 마운트 시스템은 판형의 테이블, 상기 테이블의 하측에 구비되어 상기 테이블의 상부에 위치하는 물체의 진동을 저감시키는 적어도 하나의 마운트, 상기 테이블의 일측에 구비되어 외란에 의한 상기 물체의 응답을 계측하는 센서 및 상기 센서에 의해 계측된 응답을 기초로 상기 마운트의 강성을 변화시키는 컨트롤러를 포함할 수 있다.