다공성 질화규소 구조체 및 이의 제조방법Preparation of Porous Reaction Bonded Silicon Nitride with Hierarchical Pore Structure and Its Method
본 발명은 a) 규소 분말, 분산제, 바인더 및 용매를 혼합하여 슬러리를 형성하는 단계; b) 상기 a) 단계에서 형성된 슬러리를 냉각하여 상기 용매를 고체로 상변화하여 상기 슬러리를 동결주조(freeze-casting)하는 단계; c) 상기 동결주조된 슬러리로부터 동결 건조를 통해 고상의 용매를 승화시켜 제거하는 단계; 및 d) 상기 용매가 제거된 슬러리를 질화반응을 통해 질화규소를 제조하는 단계;를 포함하는 다공성 질화규소 구조체의 제조 방법 및 이에 의해 제조되는 질화규소 구조체에 관한 것이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2014-03-04
- Application Date
- 2012-12-13
- Application Number
- 10-2012-0145001
- Registration Date
- 2014-03-04
- Registration Number
- 10-1372464-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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