멤즈 기반의 자이로스코프MEMS Based Gyroscope
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 송기무 | ko |
| dc.contributor.author | 이귀로 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T06:39:30Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T06:39:30Z | - |
| dc.date.issued | 2014-02-27 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/231212 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 웨이퍼기판에 대하여 수직(vertical) 또는 수평(lateral) 방향으로 가진(driving)하며 수직(vertical) 또는 수평(lateral) 방향으로 감지(sensing)하는, 높은 생산성을 갖는 멤즈 기반의 자이로스코프(gyroscope)에 관한 것으로서, 바닥 웨이퍼기판에 평행하게 배치되는 프레임;과, 가진모드에서, 상기 프레임과 함께 1자유도로 가진되고, 감지모드에서, 상기 프레임에 외부의 각속도가 입력될 때 코리올리힘에 의해 2자유도로 감지되는 센서질량체;와, 상기 센서질량체에 의한 2자유도의 각 감지변위를 측정하는 적어도 2개의 감지전극; 및 상기 센서질량체와 상기 프레임을 연결하고 상기 센서질량체가 2자유도의 각 감지변위를 갖도록 허용하는 적어도 2개의 센서질량체 지지스프링을 포함하는 것을 특징으로 한다. | - |
| dc.title | 멤즈 기반의 자이로스코프 | - |
| dc.title.alternative | MEMS Based Gyroscope | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 이귀로 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 송기무 | - |
| dc.contributor.assignee | 주식회사 에스알파워,한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2012-0019277 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1371149-0000 | - |
| dc.date.application | 2012-02-24 | - |
| dc.date.registration | 2014-02-27 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- EE-Patent(특허)
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