DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 전석우 | ko |
dc.contributor.author | 안창의 | ko |
dc.date.accessioned | 2017-12-20T02:56:53Z | - |
dc.date.available | 2017-12-20T02:56:53Z | - |
dc.date.issued | 2014-04-28 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/230904 | - |
dc.description.abstract | 본 발명은 (a) 포토레지스트(photoresist)를 기판 위에 도포하는 단계; (b) 근접장 나노 패터닝(proximity-field nanopatterning) 방법을 통하여 상기 포토레지스트를 주기적인 3차원 다공성 나노구조 패턴의 기공이 형성되도록 하는 단계; (c) 제1 금속 전구체를 이용한 원자층 증착법에 의해 상기 주기적인 3차원 다공성 나노구조 패턴이 형성된 포토레지스트를 주형(template)으로 상기 3차원 다공성 기공내에 제1 금속 산화물을 도입시키는 단계; 및 (d) 상기 포토레지스트 주형을 제거함으로써, 상기 포토레지스트에 형성된 3차원 다공성 나노구조의 역상(inverse form) 형태의 3차원 나노구조화된 다공성의 제1 금속 산화물을 얻는 단계; e) 상기 3차원 나노구조화된 제1 금속산화물 내부 또는 표면상에 1차원 나노 구조의 제2 금속산화물을 형성하는 단계;를 포함하는 복합차원 나노구조의 금속산화물 제조 방법 및 이에 의해 제조되는 복합차원 나노구조의 금속산화물에 관한 것이다. | - |
dc.title | 근접장 나노패터닝, 원자층 증착법 및 용액공정을 이용한 복합차원 나노구조의 금속산화물 제조방법 | - |
dc.title.alternative | Fabrication Method of Multi-Dimensional metal oxides for hydrogen production | - |
dc.type | Patent | - |
dc.type.rims | PAT | - |
dc.contributor.localauthor | 전석우 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 안창의 | - |
dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2013-0061276 | - |
dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1391730-0000 | - |
dc.date.application | 2013-05-29 | - |
dc.date.registration | 2014-04-28 | - |
dc.publisher.country | KO | - |
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