실리콘 마이크로 니들 스탬프 및 그 제조방법Silicon micro needle stamp and method of fabricating the same
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 나노팹 | ko |
| dc.contributor.author | 유동은 | ko |
| dc.contributor.author | 김영수 | ko |
| dc.contributor.author | 노길선 | ko |
| dc.contributor.author | 김광희 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T02:45:21Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T02:45:21Z | - |
| dc.date.issued | 2016-05-12 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/230881 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 첨예도가 높은 오목부를 가지는 마이크로 니들 스탬프를 구현하기 위한 제조방법으로서, 실리콘 기판을 준비하는 단계; 상기 실리콘 기판 상에 하드마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 하드마스크 패턴에 노출된 상기 실리콘 기판을 식각하는 단계로서, 상기 실리콘 기판 내에 제 1 내부공간을 형성하도록 상기 실리콘 기판을 제 1 차 식각하는 단계; 및 상기 하드마스크 패턴에 노출된 상기 실리콘 기판을 식각하는 단계로서, 상기 제 1 내부공간의 하부에 상기 제 1 내부공간 보다 횡단면적이 좁은 제 2 내부공간을 형성하도록 상기 실리콘 기판을 제 2 차 식각하는 단계;를 포함하되, 상기 실리콘 기판을 제 1 차 식각하는 단계와 상기 실리콘 기판을 제 2 차 식각하는 단계는 식각가스의 상대적 비율, 공정압력 및 소스/바이어스 파워 중에서 적어도 어느 하나의 공정조건이 서로 다른 것을 특징으로 한다. | - |
| dc.title | 실리콘 마이크로 니들 스탬프 및 그 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | Silicon micro needle stamp and method of fabricating the same | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 유동은 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김영수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 노길선 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김광희 | - |
| dc.contributor.assignee | KAIST | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2015-0146787 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1622388-0000 | - |
| dc.date.application | 2015-10-21 | - |
| dc.date.registration | 2016-05-12 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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