DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 윤준보 | ko |
dc.contributor.author | 최소영 | ko |
dc.contributor.author | 이재신 | ko |
dc.contributor.author | 연정호 | ko |
dc.contributor.author | 최동훈 | ko |
dc.contributor.author | 서민호 | ko |
dc.date.accessioned | 2017-12-20T02:38:40Z | - |
dc.date.available | 2017-12-20T02:38:40Z | - |
dc.date.issued | 2016-05-27 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/230806 | - |
dc.description.abstract | 나노와이어 압전소자의 제조방법에 있어서, 오목부가 형성된 나노와이어 어레이 템플릿 상에 자외선 경화수지를 주입하여 상기 오목부에 대응하는 볼록부를 갖는 폴리머 기판을 생성하는 폴리머 기판 생성단계; 상기 폴리머 기판을 상기 나노와이어 어레이 템플릿으로부터 분리하는 분리단계; 상기 폴리머 기판의 볼록부 상에만 압전 물질이 증착되도록 상기 폴리머 기판을 소정 각도 기울인 상태에서 상기 압전 물질을 증착하는 증착단계; 및 상기 압전 물질 상에 전극을 생성하고, 상기 전극을 패터닝하는 패터닝단계; 를 포함한다. | - |
dc.title | 나노와이어 어레이 압전소자의 제조방법 | - |
dc.title.alternative | MANUFACTURING METHOD OF NANOWIRE ARRAY PIEZOELECTRIC ELEMENT | - |
dc.type | Patent | - |
dc.type.rims | PAT | - |
dc.contributor.localauthor | 윤준보 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 최소영 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 이재신 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 연정호 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 최동훈 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 서민호 | - |
dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2014-0143544 | - |
dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1626955-0000 | - |
dc.date.application | 2014-10-22 | - |
dc.date.registration | 2016-05-27 | - |
dc.publisher.country | KO | - |
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