산화아연 나노막대 ＵＶ선을 이용한 레이저 소자A laser device using UV light from ZnO nanorod
본 발명은 산화아연과 같은 반도체 나노막대를 이용하여 나노레이저 어레이를 형성하고, 이들 나노레이저 어레이를 고주파 플라즈마 광원을 이용하여 레이저를 여기 발광시킴에 있어서, 광원과 나노레이저 어레이 사이에 금속막을 두어 표면 플라즈몬에 의한 광 증폭 효과로 고출력 레이저 광을 획득할 수 있는 레이저 소자에 관한 것이다. 본 발명의 일면에 따른 레이저 소자는, 제1 기판과 제2 기판 사이에서 구동 신호를 인가받아 플라즈마광을 발생하는 평판 형태의 플라즈마 광원 및 상기 플라즈마 광원 위에 형성되고 상기 플라즈마광에 의하여 여기된 나노 막대를 이용하여 레이저를 발생하는 레이저 출력부를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2011-12-22
- Application Date
- 2010-02-10
- Application Number
- 10-2010-0012234
- Registration Date
- 2011-12-22
- Registration Number
- 10-1100230-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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