잉크젯 프린터를 이용한 세라믹 박막 제조 방법 및 그시스템METHOD AND SYSTEM FOR MANUFACTURING A CERAMIC FILM USING INKJET PRINTER
잉크젯 프린터를 이용한 세라믹 박막 제조 방법 및 그 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 박막 제조 방법은 적어도 두 개 이상의 잉크젯 헤드에 삽입된 잉크를 기 결정된 패턴 모양으로 기판 상에 분사하는 단계; 및 상기 기판 상에 분사된 잉크들이 상호 혼합되고 반응하여 결정화되거나 전구체 형성을 통해 상기 패턴 모양의 세라믹 박막을 제조하는 단계를 포함하고, 상기 세라믹 박막의 유전 특성을 향상시키기 위해 상기 잉크에 도핑하는 단계를 더 포함할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2010-11-05
- Application Date
- 2008-04-15
- Application Number
- 10-2008-0034780
- Registration Date
- 2010-11-05
- Registration Number
- 10-0993906-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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