나노구조물 제조방법, 이에 의하여 제조된 나노구조물, 이를 위한 제조장치, 및 이를 포함하는 가스 및 ＵＶ 센서

Abstract

나노구조물 제조방법, 이에 의하여 제조된 나노구조물, 이를 위한 제조장치, 및 이를 포함하는 가스 및 UV 센서가 제공된다. 본 발명에 따른 나노구조물 제조방법은 성장시키고자 하는 물질의 액상 전구체를 상기 액상의 전구체와 접촉하는 마이크로 히터로 가열하는 단계; 및 상기 가열된 마이크로 히터로부터 상기 물질의 나노구조를 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 상기 나노구조물 제조방법은 상대적으로 낮은 온도에서 진행되므로, 경제성 등이 우수하다. 또한, 종래의 기상에서 진행되는 VLS법과는 달리 본 발명은 액상의 환경에서 나노구조물 성장 반응을 진행하므로, 경제성과 더불어 안전성이 우수하고, 보다 환경 친화적이다. 더 나아가, 마이크로 히터의 가열을 통하여 나노구조물을 제조하므로, 그 구성에 따른 다양한 형태의 나노구조물 제조가 가능하며, 더 나아가, 온도 등의 조건에 따라 나노구조물 제조 패턴을 제어가능하다. 또한 나노구조물을 합성시킴과 동시에 소자 상에 원하는 위치에 집적시킬 수 있는 장점이 있으며, 이를 통해 기존의 나노구조물 합성 후 집적 및 조립 공정에서 발생하는 복잡성을 해결할 수 있다.