광학소자 제작방법 및 제작장치FABRICATION METHOD AND APPARATUS FOR OPTICAL DEVICE
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 서민교 | ko |
| dc.contributor.author | 송정환 | ko |
| dc.contributor.author | 이은광 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T01:42:41Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T01:42:41Z | - |
| dc.date.issued | 2017-04-05 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/229966 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 수 나노미터 수준의 정밀도로 광학소자를 제작할 수 있는 광학소자 제작방법 및 제작장치에 관한 것으로, 전자빔에 의해 휘발성 부분과 비휘발성 부분으로 분해되는 유기 전구체를 진공챔버에 도입하고 기판에 전자빔을 조사함으로써 분해된 비휘발성 부분이 기판에 증착되어 광학소자를 형성하도록 하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 제작방법 및 제작장치에 따르면, 수 나노미터 수준의 정밀도로 광학소자를 제작할 수 있고, 평평하지 않은 기판에도 광학소자를 형성할 수 있으며, 복잡한 3차원 구조의 광학소자를 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 구조 튜닝이 가능한 효과가 있다. | - |
| dc.title | 광학소자 제작방법 및 제작장치 | - |
| dc.title.alternative | FABRICATION METHOD AND APPARATUS FOR OPTICAL DEVICE | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 서민교 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 송정환 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이은광 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2014-0172303 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1725768-0000 | - |
| dc.date.application | 2014-12-03 | - |
| dc.date.registration | 2017-04-05 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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