백색광 간섭계를 이용한 투명박막의 두께 및 형상을측정하는 장치 및 방법Apparatus and method for measuring thickness andprofile of transparent thin-film by white-lightinterferometry
본 발명은 백색광 간섭계를 이용한 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 제 1간섭무늬를 획득하고 합성간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 제 2간섭무늬를 획득한다. 제 1간섭무늬를 통해 박막의 두께로 인해 생성되는 위상을 얻고 위상으로부터 박막의 두께정보만을 획득한다. 제 2간섭무늬로부터 위상을 구하고, 박막두께정보가 포함된 박막표면정보를 획득한다. 박막두께정보를 이용해 박막두께정보가 포함된 박막표면정보로부터 박막의 표면정보를 획득한다. 따라서, 본 발명은 별도의 구동 장치 없이 실시간 측정과 한번의 측정으로 한 점 또는 한 선에 대한 처리가 가능하고 외부 진동에 강인한 효과가 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2006-09-26
- Application Date
- 2005-10-04
- Application Number
- 10-2005-0092978
- Registration Date
- 2006-09-26
- Registration Number
- 10-0631060-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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