본 발명은 유전자 분석 기술에 관한 것으로서, 특히 샘플 전처리 공정과 PCR 공정과 모세관 전기영동과 같은 검출 공정을 통합하여 수행할 수 있는 마이크로 장치 및 이를 이용한 분석 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 서로 분리된 유입 채널과, 배출 채널과, 검출 영역을 구비하는 마이크로 채널이 형성된 채널 웨이퍼; 및 상기 채널 웨이퍼의 일면에 슬라이드 이동이 가능하게 결합되고 상기 채널 웨이퍼의 일면과 통하는 이동 챔버가 형성된 슬라이드판을 포함하며, 상기 채널 웨이퍼의 일면에는 상기 유입 채널과 통하는 배출홀과 상기 배출 채널과 통하는 유입홀이 형성되고, 상기 배출홀과 상기 유입홀은 상기 이동 챔버의 위치에 따라 상기 이동 챔버에 함께 연결되도록 이격된 것을 특징으로 하는 샘플 전처리 - PCR - 검출 통합 마이크로칩이 제공된다.