식각 정지층을 이용하여 표면에 나노구조가 형성된 무반사렌즈용 금속 주형 및 그 제조방법Metal mold for anti-reflection lenses with nanostructures on the surface using etch stop layer and manufacturing method thereof
본 발명은 식각 정지층(etch stop layer)을 이용하여 표면에 나노구조가 형성된 무반사렌즈용 금속 주형 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 가공성이 뛰어난 알루미늄 합금을 기계가공 및 연마하여 렌즈 주형 형상을 제작하고, 표면 위에 식각 정지층을 증착한 후, 고순도 알루미늄 박막을 증착하고, 이러한 고순도 알루미늄 박막만을 양극 산화하여 나노구조를 제작함으로써, 종래의 고순도 알루미늄의 양극 산화를 이용한 무반사 렌즈용 금속 주형 제조방법의 알루미늄의 순도 및 가공성 문제를 해결하여, 마이크로 결점이 없는 매끄러운 표면을 유지하면서 표면에 나노구조를 형성할 수 있는 동시에, 사출성형을 이용하여 폴리머 또는 플라스틱 무반사 렌즈의 대량생산을 가능하게 하는 식각 정지층을 이용하여 표면에 나노구조가 형성된 무반사렌즈용 금속 주형 및 그 제조방법이 제공된다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2014-08-18
- Application Date
- 2012-09-25
- Application Number
- 10-2012-0106438
- Registration Date
- 2014-08-18
- Registration Number
- 10-1433090-0000
- Appears in Collection
- BiS-Patent(특허)
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