용매 어닐링 방법, 이를 이용한 블록 공중합체 패턴 형성 방법 및 이에 의하여 제조된 블록 공중합체 패턴Method for solvent annealing, method for forming block copolymer pattern using the same and block copolymer pattern formed by the method for forming block copolymer pattern using the same
블록 공중합체 패턴 형성 방법으로, 기판 상에 도포된 블록 공중합체에 유기 용매가 흡수된 어닐링 패드를 접촉시키는 단계; 및 상기 어닐링 패드로부터 방출되는 유기 용매에 의하여 상기 블록 공중합체가 자기조립되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴 형성 방법이 제공된다.