롤러를 이용한 플렉서블 ＶＬＳＩ 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 ＶＬＳＩMethod for manufacturing flexible VLSI using rollers and flexible VLSI manufactured by the same
롤러를 이용한 플렉서블 VLSI 제조방법으로, 기판 상에 제조된 복수 개의 VLSI 상에 하나의 고정 기판을 접착시키는 단계; 상기 복수 개의 VLSI 사이로 상기 고정 기판 및 기판을 절단하여 복수 개의 단위 VLSI를 제조하는 단계; 상기 제조된 복수 개의 단위 VLSI 상의 고정기판을 플라스틱 시트에 접착시키는 단계; 및 상기 플라스틱 시트를 롤러로 이송시킴으로써 단위 VLSI 소자를 또 다른 플라스틱 시트로 접착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 롤러를 이용한 플렉서블 VLSI 제조방법이 제공된다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2014-10-01
- Application Date
- 2013-03-04
- Application Number
- 10-2013-0022694
- Registration Date
- 2014-10-01
- Registration Number
- 10-1449250-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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