실리콘 적외선 윈도우를 구비하는 적외선 센서 모듈 제조방법METHOD OF MANUFACTURING INFRARED SENSOR MODULE HAVING SILICON INFRARED WINDOW
본 발명은 실리콘 적외선 윈도우를 얇게 형성하여 적외선의 투과도를 높이면서, 적외선 센서를 진공 상태로 패키징한 실리콘 적외선 윈도우를 구비하는 적외선 센서 모듈 제조방법에 관한 것으로, 실리콘 기판 상에 적외선 센서를 형성하여 소자 웨이퍼를 제작하는 소자 웨이퍼 제작 단계; SOI 기판의 소자층에 캐비티를 형성하여 SOI 캡 웨이퍼를 제작하는 SOI 캡 웨이퍼 제작 단계; 진공 상태에서 상기 소자 웨이퍼와 상기 SOI 캡 웨이퍼를 결합시키는 결합 단계 및 상기 SOI 캡 웨이퍼에서 실리콘 다이옥사이드층 및 실리콘 기판층을 제거하는 식각 단계를 포함하여 구성되는 것을 기술적 특징으로 한다.
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2014-08-27
- Application Date
- 2014-05-21
- Application Number
- 10-2014-0060678
- Registration Date
- 2014-08-27
- Registration Number
- 10-1436822-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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