유체 분배 장치 및 유체 분배 방법FLUID DISTRIBUTION APPARATUS AND FLUID DISTRIBUTION METHOD
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 장홍영 | ko |
| dc.contributor.author | 이헌수 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T01:08:31Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T01:08:31Z | - |
| dc.date.issued | 2011-06-24 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/229293 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 유체 분배 장치 및 유체 분배 방법을 제공한다. 이 방법은 예비 단위 영역들을 포함하는 예비 유체 분배부를 이용하여 기판의 최적 공정 위치를 선택하고, 및 기판의 최적 공정 위치에 대응하는 예비 유체 분배부의 구조를 전사하여 유체 분배부를 제공하는 것을 포함한다. 예비 단위 영역들 각각은 위치에 따라 서로 다른 유량을 공급하는 스플릿 영역들을 포함한다. | - |
| dc.title | 유체 분배 장치 및 유체 분배 방법 | - |
| dc.title.alternative | FLUID DISTRIBUTION APPARATUS AND FLUID DISTRIBUTION METHOD | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 장홍영 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이헌수 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2009-0043113 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1045598-0000 | - |
| dc.date.application | 2009-05-18 | - |
| dc.date.registration | 2011-06-24 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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