적층형 태양전지 및 상기 태양전지의 제조방법

Abstract

본 발명은 전도성 기판 상에 p+ 층, 단결정 실리콘층, 비정질 실리콘층 및 투명 전도성 산화층이 순서대로 적층된 적층형 태양전지에 있어서, 상기 단결정 실리콘층의 두께가 1 ~ 100 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 적층형 태양전지에 관한 것이다. 또한 본 발명은 전도성 기판 상에 단결정 실리콘층과 비정질 실리콘층이 형성된 적층형 태양전지 제조방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 단결정 실리콘 기판의 양면에 p+ 층을 형성하는 단계, 상기 단결정 실리콘 기판의 소정의 깊이에 수소 이온을 주입하여 비정질 실리콘층을 형성하는 단계, 상기 p+ 층 상부면에 전도성 기판을 형성하는 단계, 상기 단결정 실리콘 기판을 수소 이온을 주입한 위치에서 절단하는 단계 및 상기 비정질 실리콘층 상부면에 투명 전도성 산화물층을 형성하는 단계를 포함하는, 전도성 기판 상에 단결정 실리콘층과 비정질 실리콘층이 형성된 적층형 태양전지를 제조하는 방법에 관한 것이다.