동전기를 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법 및 이를 이용한 원자현미경

Abstract

본 발명의 동전기를 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법은 전해질에 시료를 담그어 시료 표면에 대전 현상을 발생시켜 시료의 재질에 따라 시료의 표면에 밀착되는 전해질의 이온이 수가 결정되는 구속영역이 생기고, 구속영역 이외의 구역인 자유영역에 잔존되는 이온이 존재하도록 하는 계면동전위의 환경을 조성하는 단계와, 상기 자유영역에서 시료 표면측으로 유체를 분사시켜 자유영역내에 존재하는 이온이 자유 이동되도록 하여 유체의 분사 범위 내의 이온과 그 외에 자유영역에서의 이온 흐름에 의한 전위차를 측정하는 단계와, 측정된 전위차 값을 통해 시료의 표면 지형 형상, 시료에 함유된 물질 분포 형태, 지형의 굴곡도, 단면도, 입체도 및 각종 통계자료를 얻을 수 있도록 하는 단계로 이루어진다.