탄소나노튜브를 이용한 유연소자 및 그 제조방법FLEXIBLE DEVICE USING CARBON NANOTUBE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
본 발명에 의한 유연소자의 제조방법은 기판 위에 중간막을 형성하는 단계와, 중간막 위에 탄소나노튜브 막을 적층하는 단계와, 탄소나노튜브 막을 패터닝하여 중간막 위에 탄소나노튜브 패턴을 형성하는 단계와, 중간막 위에 폴리머 용액을 도포한 후 경화시켜 탄소나노튜브 패턴을 포함하는 폴리머 막을 형성하는 단계와, 탄소나노튜브 패턴을 갖는 폴리머 막을 중간막으로부터 분리하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의한 유연소자는, 그 제조가 폴리머의 분해 및 녹는 온도 미만에서 수행되므로, 제조 비용을 줄일 수 있고, 대량생산이 가능하다.
- Assignee
- 한국표준과학연구원,한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2011-09-08
- Application Date
- 2008-11-24
- Application Number
- 10-2008-0116767
- Registration Date
- 2011-09-08
- Registration Number
- 10-1065280-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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