국부적으로 화학적 활성이 제어된 금속촉매 및 그의제조방법

Abstract

본 발명은 나노물질의 구조 변화를 위하여 사용되는 국부적으로 화학적 활성이 제어된 나노크기의 금속촉매와 그의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 철 나노입자가 첨가 되어 있는 블록 공중 합체 마이셀을 스핀코터로 코팅하는 금속 나노입자 패터닝 공정과, 실리콘 기판위에 플라즈마 처리에 의하여 마이셀을 제거하고 일정한 크기와 간격을 가지는 철 파티클 형성 공정과, 전기의 철 파티클을 질소 플라즈마로 처리하여 철파티클 내부에 질화철을 석출시키는 플라즈마 공정과, 에탄올과 질산 혼합용액으로 외부의 철을 제거하고 내부의 질화철을 노출시키는 에칭공정으로 구성된다. 본 발명의 금속촉매는 나노 크기로 분포된 철 촉매 나노입자의 내부에 화학적으로 비활성의 노출된 질화철과 활성의 쉘을 생성시키므로 제어할 수 있는 일정한 벽수를 가지는 탄소나노튜브를 제조 할 수 있다.