수동형 미소 유량 제어기

Abstract

본 발명은 외부 에너지를 사용하지 않고도 집적화된 생물학적 분석 시스템에서 정밀하게 유량을 조절할 수 있는 수동형 미소 유량 제어기에 관한 것으로, 본 발명에 따른 수동형 미소 유량 제어기는, 벽면의 일부에 하나 이상의 박막 탄성체가 형성되어 있는 주 유로; 상기 주 유로로부터 분기되어 형성되며, 상기 주 유로의 벽면에 형성된 박막 탄성체와 연결되는 하나 이상의 부 유로; 상기 박막 탄성체와, 상기 박막 탄성체와 대향되는 상기 주 유로의 벽면으로 구성되며, 상기 주 유로를 흐르는 유체의 압력에 의해 상기 박막 탄성체가 변형되어 상기 주 유로 내로 흐르는 유체의 유동 저항을 변화시키는 가변 유동저항부를 포함하며, 상기 주 유로를 흐르는 유체의 압력 변화에 따른 상기 박막 탄성체의 변형이 주 유로의 유동 저항을 변화시켜 유량이 조절되는 것을 특징으로 한다.