음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 방법, 그시스템 및 이를 이용한 광학기기Dual-mode Spectral Imaging Method and System using Acousto-Optic Tunable Filter, and Optical Apparatus using the same

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dc.contributor.author김수현ko
dc.contributor.author유장우ko
dc.contributor.author류성윤ko
dc.contributor.author오세백ko
dc.date.accessioned2017-12-18T04:47:00Z-
dc.date.available2017-12-18T04:47:00Z-
dc.date.issued2009-11-03-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/228334-
dc.description.abstract본 발명은 음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 방법, 그 시스템 및 이것을 이용한 광학기기에 관한 것으로, 음향광학변조필터의 분광 및 편광 특성을 이용하여 정상파와 비정상파로 분광되어 서로 다른 정보가 담긴 2개의 회절광을 듀얼모드로 측정함으로써, 다층 박막을 포함한 반도체 박막의 굴절률이나 두께 또는 그 형상 및 세포의 굴절률 및 분광 물성치 등을 고속으로 정밀하게 측정할 수 있는 음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 방법, 그 시스템 및 이것을 이용한 광학기기를 제공하는데 그 목적이 있다. 이를 해결하기 위한 수단으로서 본 발명에 따른 음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 시스템은, 광원으로부터 생성된 광을 측정광과 기준광으로 분광시켜 조사해 주는 광원부; 측정광을 시편에 조사하여 반사된 측정광을 얻는 시편부; 기준광을 편광시켜 주는 기준부; 반사된 측정광과 편광된 기준광을 편광시켜 얻은 간섭광으로부터 편광 상태가 다른 2개의 회절광으로 분광시켜 주는 음향광학변조필터; 각 회절광을 검출하는 검출부; 및 검출된 회절광을 이용하여 결상처리 및 음향광학변조필터를 제어하는 신호처리 및 제어부;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명은 이러한 이미징 시스템을 이용하여 이미징하는 방법 및 이미징 방법을 수행하는 광학부재를 포함하는 광학기기를 제공한다.-
dc.title음향광학변조필터를 이용한 듀얼모드 분광 이미징 방법, 그시스템 및 이를 이용한 광학기기-
dc.title.alternativeDual-mode Spectral Imaging Method and System using Acousto-Optic Tunable Filter, and Optical Apparatus using the same-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor김수현-
dc.contributor.nonIdAuthor유장우-
dc.contributor.nonIdAuthor류성윤-
dc.contributor.nonIdAuthor오세백-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2007-0109389-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-0926034-0000-
dc.date.application2007-10-30-
dc.date.registration2009-11-03-
dc.publisher.countryKO-
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ME-Patent(특허)
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