전극일체형 광전자적 미세입자 구동장치

Abstract

본 발명은 전극일체형 광전자적 미세입자 구동장치에 관한 것으로서, 광전도성층과 접지층을 일체형으로 형성시켜 하나의 평판에서 미세입자를 이동시킬 수 있고, 미세입자를 이동시키는 장치를 다른 장치와 통합시킬 수 있어 유연하게 다양한 분야에 적용할 수 있는 전극일체형 광전자적 미세입자 구동장치를 제공하기 위한 것이다. 그 기술적 구성은 빛을 조사하는 광원; 기판 상에 전기가 도통하는 물질로 증착되어 전원과 연결된 평판형 전극; 상기 평판형 전극에 연결된 전원과의 연결이 상기 광원의 온, 오프 여부에 의해 스위칭되는 포토 트랜지스터를 포함한 광전도성층; 상기 광전도성층 상에 전기가 도통하는 물질로 패턴을 형성하며 증착되고, 상기 평판형 전극의 기준 전압을 제공하기 위해 전원과 연결된 패턴형 접지전극; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.