유기단분자층 및 블록공중합체를 포함하는 나노구조체 및그 제조방법Nano Structure Comprising Organic Monolayer and Block Copolymer and Method Thereof

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본 발명은 블록공중합체의 나노구조체 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, (a) 산화물 기판을 형성하는 단계, (b) 상기 산화물 표면에 블록공중합체 박막을 형성시키는 단계 및 (c) 상기 블록공중합체를 열처리하여 자기조립 나노구조체를 형성시키는 단계를 포함하는, 블록공중합체의 나노구조체 및 그 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따르며, 다양한 종류의 산화물 기판 상에 블록공중합체 나노구조를 포함하는 나노구조체를 제공하는 효과가 있으며, 나노구조체 제조시에 사용된 블록공중합체를 구성하는 각 블록의 상대적인 조성비에 따라 블록공중합체의 자기조립 나노구조의 형태가 달라지므로, 이렇게 여러가지 형태로 나타내는 나노구조를 이용하여 다양한 용도로 상기 나노구조체를 용이하게 활용할 수 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2009-02-19
Application Date
2007-05-25
Application Number
10-2007-0051020
Registration Date
2009-02-19
Registration Number
10-0885666-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/228198
Appears in Collection
MS-Patent(특허)
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