몰드와 광경화성 수지의 수평 운동을 이용한 미세 구조물의제조 방법Method for fabricating micro-patterns using horizontal movement between mold and photocurable resist
본 발명은 광경화성 수지를 이용한 임프린트 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 미세 패턴이 형성된 몰드와 광경화성 수지를 서로 수평적으로 이송시켜 미세 패턴에 대응하는 미세 구조물을 제조하는 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 미세 구조물의 제조 방법은 광경화성 수지와 미세 패턴을 구비한 몰드를 서로 수평적으로 이동시켜 미세 패턴에 대응하는 미세 구조물을 제조함으로써, 대면적에 미세 구조물을 제조하는 경우에도 정확한 형상으로 미세 구조물을 제조할 수 있다. 또한 본 발명에 따른 미세 구조물의 제조 방법은 미세 패턴을 구비한 몰드에 광경화성 수지를 수평적으로 이동시켜 미세 구조물을 제조함으로써, 몰드와 광경화성 수지를 이형시키는 별도의 과정이 불필요하며 따라서 연속적이고도 효율적인 미세 구조물의 제조가 가능하다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2008-03-13
- Application Date
- 2007-02-16
- Application Number
- 10-2007-0016760
- Registration Date
- 2008-03-13
- Registration Number
- 10-0815113-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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