볼로미터BOLOMETER
본 발명은 볼로미터에 관한 것이다.이러한 본 발명의 볼로미터는 기판 상에 형성된 하부 금속층과, 적외선의 세기에 따라 저항이 변하는 상부 금속층 및 상기 상부 금속층과 상기 하부 금속층을 소정의 간격으로 이격시키는 지지부를 포함한다.이러한 본 발명에 따르면 볼로미터의 구조와 제조공정을 단순화하고, 제조비용을 절감하는 등의 효과가 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2007-12-07
- Application Date
- 2006-06-19
- Application Number
- 10-2006-0054876
- Registration Date
- 2007-12-07
- Registration Number
- 10-0785738-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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