열대류형 마이크로 가속도계

Abstract

이 발명은 측정 주파수의 대역폭을 향상시키는 열대류형 마이크로 가속도계에 관한 것이다.이 발명에 따른 열대류형 마이크로 가속도계는, 중심부에 구멍이 형성된 실리콘기판과, 상기 구멍의 중앙에 위치한 마이크로 히터와, 상기 마이크로 히터를 중심으로 1축 상에 대칭되게 위치한 한 쌍의 주 온도감지센서와, 상기 마이크로 히터와의 거리가 상기 마이크로 히터와 주 온도감지센서와의 거리보다 멀고 상기 1축 상에 대칭되게 위치하는 한 쌍의 보조 온도감지센서와, 상기 한 쌍의 주 온도감지센서와 한 쌍의 보조 온도감지센서에서 검출된 온도측정치에 따른 출력전압으로부터 가속도를 계산하는 연산회로를 포함한다.