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광대역 흡수구조를 갖는 고성능 볼로미터 나노종합기술원; 이종권; 김태현; 오재섭; 박종철; 김희연, 2019-07-12 | |
멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 홍대원; 나노종합기술원 | |
멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법 나노종합기술원; 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 김광희 | |
볼로미터 멤스 소자 및 볼로미터 멤스 소자의 제조 방법 나노종합기술원; 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 김광희 |