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| NO | Title, Author(s) (Publication Title, Volume Issue, Page, Issue Date) |
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| 멤스 소자 및 멤스 디바이스의 제조 방법 나노종합기술원; 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 김광희 | |
| 볼로미터 멤스 소자 및 볼로미터 멤스 소자의 제조 방법 나노종합기술원; 오재섭; 이종권; 박종철; 김태현; 김광희 |
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- 2 Patent