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| 고 응답 멤스 디바이스 및 그 제조방법 임성규; 김영수; 김한흥; 임부택; 김태현; 김경태; 황욱중, 2014-06-11 |
| 멤스 디바이스 및 그 제조방법 나노종합기술원; 오재섭; 강민호; 이완규; 임성규; 김영수; 황욱중, 2017-11-28 |
| 웨이퍼 레벨 패키지용 캡핑 웨이퍼의 제조를 위한 포토마스크 및 이를 이용한 웨이퍼 레벨 패키지용 캡핑 웨이퍼의 제조 방법 나노팹; 송명호; 황욱중, 2014-09-02 |
| 표면 탄성파를 이용한 그래핀 가스센서 나노팹; 임채현; 강일석; 김희연; 안치원; 황욱중, 2017-03-28 |
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Type
- 1,487 Patent
Date issued
- 461 2010 - 2019
- 90 2000 - 2009
- 165 1990 - 1999
- 125 1981 - 1989