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| EUV 리소그래피 펠리클 박막의 제조 방법 및 장치 나노종합기술원; 이기성; 박남수; 황해철; 강희오; 서창호 |
| 반도체 장치의 제조방법 김정우; 강희오, 2014-01-07 |
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Type
- 1,493 Patent
Date issued
- 458 2010 - 2019
- 90 2000 - 2009
- 165 1990 - 1999
- 125 1981 - 1989