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고 응답 멤스 디바이스 및 그 제조방법

임성규; 김영수; 김한흥; 임부택; 김태현; 김경태; 황욱중, 2014-06-11

4
멤스 디바이스 및 그 제조방법

나노종합기술원; 오재섭; 강민호; 이완규; 임성규; 김영수; 황욱중, 2017-11-28

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