접합 물질의 모세관힘을 이용한 상온, 상압 MEMS 패키징
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 한창훈 | ko |
| dc.contributor.author | 김창근 | ko |
| dc.contributor.author | 윤용훈 | ko |
| dc.contributor.author | 서민호 | ko |
| dc.contributor.author | 고승덕 | ko |
| dc.contributor.author | 윤준보 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-06-16T03:44:54Z | - |
| dc.date.available | 2017-06-16T03:44:54Z | - |
| dc.date.created | 2017-06-09 | - |
| dc.date.issued | 2017-03-31 | - |
| dc.identifier.citation | 제19회 한국MEMS학술대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/223996 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 마이크로나노시스템학회 | - |
| dc.title | 접합 물질의 모세관힘을 이용한 상온, 상압 MEMS 패키징 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 제19회 한국MEMS학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 제주 KAL 호텔 | - |
| dc.contributor.localauthor | 윤준보 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김창근 | - |
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- EE-Conference Papers(학술회의논문)
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