스퍼터링 방식으로 제작된 적외선 방사체 소자용 TiNx 박막의 기판온도에 따른 구조적, 전기적 특성 분석
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Shin, Young Bong | ko |
| dc.contributor.author | Lee, Hee Chul | ko |
| dc.contributor.author | Kang, In Ku | ko |
| dc.contributor.author | Park, Ki Won | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-01-13T07:49:40Z | - |
| dc.date.available | 2017-01-13T07:49:40Z | - |
| dc.date.created | 2016-12-29 | - |
| dc.date.issued | 2015-11-23 | - |
| dc.identifier.citation | 한국군사과학기술학회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/219108 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국군사과학기술학회 | - |
| dc.title | 스퍼터링 방식으로 제작된 적외선 방사체 소자용 TiNx 박막의 기판온도에 따른 구조적, 전기적 특성 분석 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 한국군사과학기술학회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | DCC 대전컨벤션센터 | - |
| dc.contributor.localauthor | Lee, Hee Chul | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | Park, Ki Won | - |
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- EE-Conference Papers(학술회의논문)
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