적외선 방사소자의 저항체로써 활용을 위한 질화타이타늄 박막의 특성에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Kang, In Ku | ko |
| dc.contributor.author | Lee, Hee Chul | ko |
| dc.contributor.author | Shin, Young Bong | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-01-13T07:45:34Z | - |
| dc.date.available | 2017-01-13T07:45:34Z | - |
| dc.date.created | 2016-12-29 | - |
| dc.date.issued | 2016-04-09 | - |
| dc.identifier.citation | 한국MEMS학술대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/219090 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 마이크로나노시스템학회 | - |
| dc.title | 적외선 방사소자의 저항체로써 활용을 위한 질화타이타늄 박막의 특성에 관한 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 한국MEMS학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 제주 KAL 호텔 | - |
| dc.contributor.localauthor | Lee, Hee Chul | - |
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- EE-Conference Papers(학술회의논문)
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