MEMS 기술을 이용한 압전저항 실리콘 스트레인게이지의 제작Fabrication of Piezo-resistive Silicon Strain Gauge Using MEMS Technology
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김용대 | - |
| dc.contributor.author | 권세진 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-12-09T06:17:30Z | - |
| dc.date.available | 2010-12-09T06:17:30Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.citation | 한국항공우주학회 2007년도 추계학술발표회, v., no., pp. - | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/20888 | - |
| dc.description.sponsorship | 이 논문은 2007년도 정부(과학기술부)의 재원 으로 한국과학재단의 국가지정연구실사업으로 수행된 연구임(No. R0A_2007_000_20065_0). | en |
| dc.language | KOR | - |
| dc.language.iso | ko | en |
| dc.title | MEMS 기술을 이용한 압전저항 실리콘 스트레인게이지의 제작 | - |
| dc.title.alternative | Fabrication of Piezo-resistive Silicon Strain Gauge Using MEMS Technology | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 한국항공우주학회 2007년도 추계학술발표회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 권세진 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김용대 | - |
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- AE-Conference Papers(학술회의논문)
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