Search
Results 1-2 of 2 (Search time: 0.003 seconds).
| NO | Title, Author(s) (Publication Title, Volume Issue, Page, Issue Date) |
|---|---|
| Oxidation of polysilicon using ECR N2O plasma oxidation and its application for poly-Si TFTs 한철희, 제3회 반도체 학술대회, pp.195 - 198, 1996 | |
| 실리콘 마이크로머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 한철희, 대한전자공학회 하계 종합학술대회, pp.309 - 312, 1996 |
Discover