Browse "RIMS Conference Papers" by Author 이원종

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1
ECR 플라즈마를 이용한 Cu박막의 건식 식각특성에 관한 연구

이원종; 천성순, 한국재료학회 1995 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1995-11

2
Inconel 600위에 증착된 PECVD-TiN의 전기화학적 특성에 관한 연구

이원종; 천성순; 김상표; 인치범; 김흥회, 한국재료학회 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1993-11

3
PECVD방법으로 증착된 알루미늄 산화박막의 조성 및 구조분석

이원종; 천성순; 김용천, 한국재료학회 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1992-11

4
Pitting properties of PACVD TiN coated Inconel 600 in 100℃ NaCl solution

이원종; 천성순; 인치범; 김용일; 김흥회, 한국 원자력 학회 추계 학술 대회, pp.551 - 556, KNS, 1994-10-29

5
TiN Barrier Layer 위에 금속유기화학증착법에 의해 제조된 구리박막의 증착특성에 관한 연구

이원종; 윤수식; 이성권; 민재식; 천성순, 한국재료학회 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1993-11

6
산소와 질소분위기에서 열처리된 ECR- PECVD 탄탈륨 산화막의 전기적 성질 연구

이원종; 김일; 김종석; 안성덕; 천성순, 한국재료학회 춘계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1994-05

7
플라즈마 화학증착한 aluminum oxide의 reactive ion etching 특성

이원종; 김형석; 천성순, 한국재료학회 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1992-11

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