Showing results 1 to 2 of 2
Enhanced cleaning of photoresist film on a transparent substrate by backward irradiation of a Nd : YAG laser Kim, JH; Suh, YJ; Kim, Sang Soo, APPLIED SURFACE SCIENCE, v.253, no.4, pp.1843 - 1848, 2006-12 |
Nd:YAG 레이저를 이용한 유리 기판상의 유기 오염물 레이저 세정 = Laser cleaning of organic contaminants on glass substrate using Nd:YAG laserlink 김진호; Kim, Jin-Ho; et al, 한국과학기술원, 2007 |
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