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평면 XY 공기정압 스테이지의 운동특성 분석 황주호; 박천홍; 이찬홍; 김승우, 한국정밀공학회 2003년 춘계학술대회 , pp.359 - 362, 한국정밀공학회, 2003 |
평면 XY 스테이지용 공기베어링 안내면 오차 평가 황주호; 박천홍; 김승우, 한국정밀공학회 2006년 춘계학술대회, pp.141 - 142, 한국정밀공학회, 2006 |
평면 XY 스테이지의 2D 오차 평가 및 개선 = Evaluation and enhancement for 2D error of planar XY stagelink 황주호; Hwang, Joo-Ho; et al, 한국과학기술원, 2006 |
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