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자기부상 스테이지에서의 속도리플 향상을 위한 모델링 개선 및 제어 알고리즘에 관한 연구 = A study on development of modeling and control algorithm to reduce velocity ripple for magnetic levitation stagelink 박세훈; Park, SeHoon; et al, 한국과학기술원, 2015 |
초정밀 선형 모터 시스템의 적응형 힘리플 보상과 정밀 트랙킹 제어 최영만; 권대갑; 이문구, 한국정밀공학회지, v.22, no.12, pp.51 - 60, 2005-12 |
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