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Device structure and fabrication process for high performance polysilicon thin film transistors = 고성능 다결정 실리콘 박막 트랜지스터를 위한 소자의 구조 및 제작 공정link Ha, Yong-Min; 하용민; et al, 한국과학기술원, 1994 |
램프 가열 방식을 이용한 LPCVD 시스템의 설계 및 제작과 폴리 실리콘 증착 = Design and implementation of lamp-heated LPCVD system and poly-Si depositionlink 하용민; Ha, Yong-Min; et al, 한국과학기술원, 1990 |
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