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2 GHz 대역 RF 대역통과 필터 응용을 위한 AlN 압전 박막을 이용한 FBAR 소자

윤기완; 임문혁; 김종헌; 채동규, 한국정보통신학회논문지, v.7, no.2, pp.250 - 254, 2003-03

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