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Post deposition anneal effect of $HfO_2$ thin film deposited by atomic layer deposition method = 원자층 증착법으로 증착된 $HfO_2$ 박막의 증착 후 열처리 효과에 관한 연구link Shin, Yun-Sang; 신윤상; et al, 한국과학기술원, 2007 |
Ultra-thin High-K Dielectrics for memory and logic device applications = 메모리 및 로직 소자용 고유전체 박막에 관한 연구link Shin, Yun-Sang; 신윤상; et al, 한국과학기술원, 2014 |
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