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플라즈마 공정을 위한 새로운 고전력 밀도 맞춤 파형 모듈레이터

김재상; 김동민; 김태우; 김재호; 문건우, 2023년도 전력전자학술대회, 한국전력전자학회, 2023-07-04

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