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D.C. 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의한 Sn-doped In2O3 박막의 밀도와 전기적 특성과의 관계 이정일; 최시경, 한국세라믹학회지, v.37, no.7, pp.686 - 692, 2000-07 |
D.C. 마그네트론 반응성 스퍼터링법으로 증착한 ITO박막에 있어서 고유응력, 배향성 그리고 밀도가 비저항에 미치는 영향 = Effect of density, intrinsic stress and crystallographic orientation on resistivity of ITO thin films deposited by D.C. magnetron reactive sputteringlink 이정일; Lee, Jung-Il; et al, 한국과학기술원, 2000 |
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