Browse "Dept. of Materials Science and Engineering(신소재공학과)" by Author 이도선
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| Bosch process에 의한 식각형상 예측을 위한 전산모사 이원종; 김창규; 이도선, 한국재료학회 2007 추계학술발표대회, 2007-11-02 |
| Cu 박막과 SiO2 절연막사이의 TaNx 박막의 접착 및 확산방지 특성 김용철; 이도선; 이원종, 마이크로전자 및 패키징학회지, v.16, no.3, pp.19 - 24, 2009-09 |
| DLI-MOCVD법을 이용한 Pb(Zr,Ti)O3 강유전막 증착시 IrO2 하부전극의 열화학적 안정성에 대한 연구 이원종; 변경문; 이도선, 대한금속재료학회 추계학술대회 발표, pp.145 - 145, 2003 |
| DLI-MOCVD법을 이용한 Pb계 강유전막의 저온증착과 pulsed plasma의 영향에 관한 연구 이원종; 변경문; 이도선, 대한금속재료학회 2003 추계학술대회, 2003-10-23 |
| Study on target erosion in rocking magnet sputtering system 이도선; 권위휘; 이원종, 한국진공학회지, v.14, no.4, pp.245 - 251, 2005-12 |
| 구리 CECVD를 이용한 3-D packaging용 through-Si via/trench filling에 대한 연구 = Through-Si via/trench filling for 3-D packaging by copper catalyst-enhanced chemical vapor depositionlink 이도선; Lee, Do-Seon; et al, 한국과학기술원, 2009 |
| 요동자석 스퍼터링 시스템에서의 타겟식각에 관한 연구 = Study on target erosion in rocking magnet sputtering systemlink 이도선; Lee, Do-Sun; et al, 한국과학기술원, 2004 |
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Open Access
Date issued
- 2,031 2020 - 2024
- 6,675 2010 - 2019
- 5,357 2000 - 2009
- 3,582 1990 - 1999
- 982 1980 - 1989