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(A) study on the growth kinetic modeling for atomic layer deposition of multi-component thin films = 다성분계 박막의 ALD를 위한 박막성장의 동역학적 modeling에 관한 연구link Kim, Jin-Hyock; 김진혁; et al, 한국과학기술원, 2005 |
(A) study on uniformity of polishing rate in the chemical-mechanical polishing(CMP) of SiO2 thin film = 실리콘 산화막 CMP에서 연마속도 균일도 향상에 관한 연구link Kim, Jin-Hyuck; 김진혁; et al, 한국과학기술원, 2000 |
(A) transmission electron microscopy study on the crystallization of low pressure chemical vapor deposition amorphous silicon thin films = 저압화학증착된 비정질 실리콘 박막의 결정화에 관한 투과전자현미경 연구link Kim, Jin-Hyeok; 김진혁; et al, 한국과학기술원, 1996 |
RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여 제작한 MGZO 박막의 구조적 및 전기적, 광학적 특성에 미치는 스퍼터링 전력의 영향 김진혁; 김인영; 신승욱; 김민성; 윤재호; 허기석; 정채환; et al, 한국재료학회지, v.23, no.3, pp.155 - 160, 2013-03 |
원자층증착법 시뮬레이션 방법 강상원; 김진혁; 정회성, 2007-05-01 |
저압화학증착된 혼합상 실리콘 박막의 형성기구에 관한 투과전자현미경 연구 김진혁; 이정용; 이승창; 남기수, 대한금속·재료학회지, v.33, no.6, pp.730 - 736, 1995-12 |
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